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製品・サービス

Commissioned test

—— 半導体用スパッタリングターゲット

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高純度Al及びAl合金のターゲット材:

1、製品:Al、Al30ppmSi、Al0.5Si、Al0.75Si、Al0.8Si、Al1Si、Al0.5Cu、AlSiCu、など。

2、純度は4N~5Nまで対応。

3、お客様のニーズに応じる結晶粒経及び組織設計。

4、お客様のニーズに応じる特別ロングライフターゲット。

高純度TiターゲットとTiコイル

1、製品:4N5、5N、低酸素など。

2、お客様のニーズに応じる結晶粒経及び組織設計。

3、お客様のニーズに応じる特別ロングライフターゲットとコイル。

高純度Cu及びCu合金ターゲット、Cuコイル、Cuアノード。

1、製品:4N、4N5、5N、6N、またはCuAl、CuMnなどの合金ターゲット、純銅とCuPアノード、Cuコイルなど。

高純度Ta、Ta合金のターゲット及びTaコイル。

1、製品:純度3N5から5Nまでのタンタルターゲットとコイルを多仕様にて対応。

2、 Taコイルのリサイクルサービスを提供、お客様のコスト削減をサポート。

特殊金属と合金ターゲット製品:高純度W、WTi、WSi、高純度Si、高純度Ni、Ni合金、高純度CrおよびCr合金、Coターゲットなど。



——  LCD用スパッタリングターゲット


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G4.5、G5、G5.5、G6、G8.5、G10.5世代の超高純度Al、Cu、Mo、Tiのターゲットです。

PVD装置用防着板、坩堝、CFRP部品。



—— 半導体用精密パーツ

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PVD装置用Clamp Ring、Collimator 。

CVD装置用とetching装置用のface plate、shower headなど。

化学機械研削盤用ダイヤモンド砥石、Retaining Ringなど。

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